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【第一參賽人/留學(xué)人員】王士京

【留學(xué)國(guó)家】日本

【技術(shù)領(lǐng)域】高端裝備與新能源汽車

【參賽屆次】第10屆

【所獲獎(jiǎng)項(xiàng)】二等獎(jiǎng)

【項(xiàng)目簡(jiǎn)介】

光刻膠灰化是芯片加工中一個(gè)重要的步驟，從成熟工藝到先進(jìn)工藝都離不開有機(jī)物掩膜的灰化（比如光刻膠灰化）這道工藝，此外隨著制造工藝技術(shù)節(jié)點(diǎn)的不斷推進(jìn)，在灰化的同時(shí)，對(duì)離子轟擊導(dǎo)致的表面損傷要求越來越高。目前國(guó)內(nèi)外加工廠所用主流的灰化刻蝕設(shè)備有Mattson,PSK,Lam等。前述幾個(gè)公司的關(guān)鍵技術(shù)主要掌握在國(guó)外團(tuán)隊(duì)手中，零部件國(guó)產(chǎn)化率低。本項(xiàng)目產(chǎn)品是全新的12寸灰化蝕刻機(jī)，新型反應(yīng)機(jī)理，在完全去除有機(jī)物掩膜的同時(shí)，最大程度地減少底層材料表面狀態(tài)的損傷，實(shí)現(xiàn)超低損傷的蝕刻性能。目前項(xiàng)目產(chǎn)品300A/300E在成熟和先進(jìn)節(jié)點(diǎn)得到了廣泛應(yīng)用。【展開】【收起】

【成立時(shí)間】2020年08月01日

【行業(yè)領(lǐng)域】零售業(yè)

【注冊(cè)資本】1000萬元

【企業(yè)法人】王兆祥

【官方網(wǎng)站】https://www.bxsemi.com/

【公司地址】中國(guó)（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)洲德路1588號(hào)2幢2座

【企業(yè)簡(jiǎn)介】

??諳邦半導(dǎo)體是?上海邦芯半導(dǎo)體科技有限公司的臨港落地項(xiàng)目公司，是邦芯的全資子公司。?諳邦半導(dǎo)體專注于真空等離子體技術(shù)的半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)，主要研發(fā)項(xiàng)目包括?化合半導(dǎo)體和硅基芯片加工設(shè)備，如化合物半導(dǎo)體刻蝕機(jī)、化合物芯片介質(zhì)刻蝕機(jī)等，致力于解決國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中的“卡脖子”問題，實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化替代。諳邦半導(dǎo)體已成功應(yīng)用于?中芯國(guó)際、?積塔半導(dǎo)體、?鼎泰匠芯等高制程芯片企業(yè)，并帶動(dòng)上下游企業(yè)協(xié)同發(fā)展。此外，諳邦半導(dǎo)體在初創(chuàng)期獲得了?上海銀行的金融支持，成功晉級(jí)?X·TIME2024國(guó)際創(chuàng)業(yè)大賽復(fù)賽，并被評(píng)為上海市高新技術(shù)企業(yè)、?專精特新企業(yè)。? 【展開】【收起】

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